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所謂半導(dǎo)體電子潔凈車間，指的是潔凈度在10萬級(jí)標(biāo)準(zhǔn)以上的車間，主要是按照按照每一立方米空氣中含有的0.5微米塵粒數(shù)計(jì)算。
根據(jù)潔凈度不同分為100級(jí)（小于3.5個(gè)），1000級(jí)（小于35個(gè)），10000級(jí)（小于350個(gè)），100000級(jí)（小于3500個(gè)）。
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