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m/s；關(guān)于風速均勻性評價，不同標準中有不同的評價方法，如美國聯(lián)邦標準FSB、日本工業(yè)標準JISB-《潔凈工作臺》、我國行業(yè)標準JG/T-《層流潔凈工作臺檢驗標準》中均規(guī)定“每個測點應在平均風速的±%范圍內(nèi)”[]，JG/T-《潔凈工作臺》中采用風速不均勻度（風速的相對標準偏差）的評價方法，要求風速測點整體不均勻度不超過%。

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Chase），將潔凈室之循環(huán)風量與外氣空調(diào)箱之補充風量混合，經(jīng)由冷卻盤管（DryCoolingCoil）將回風管道間之回風降溫至凈室要求之規(guī)格，通過循環(huán)風扇（FanFilterUnit或FFU）帶動潔凈室的氣流循環(huán)帶走微塵及熱量，后經(jīng)過超高性能過濾網(wǎng)（Ultra-lowpenetrationair或ULPAFilter）過濾后，供應至Fab區(qū)。

圖潔凈工作臺的工作原理圖，豎直單向流潔凈工作臺應在個不同豎直截面上（平行于前部操作窗口所在平面）分別進行可視煙霧檢測，對于水平單向流潔凈工作臺只需在豎直截面上（平行于空氣過濾器出風面）進行可視煙霧檢測即可。

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工作臺的特點：分為輕型工作臺和重型工作臺；組裝結(jié)構(gòu)、組裝簡便、強度高、多種工作臺臺面選擇（掛板、電器板、燈頂板、擱板等臺上部件），可配合不同的使用要求；加裝工具柜后，更能合理地使用空間，存放工具及零配件。

過濾器掃描檢漏測試方法在很多相關(guān)標準中都有專門規(guī)定，具體測試方法如下：測試過程可采用大氣塵或人工多分散氣溶膠作為過濾器上游塵源，當發(fā)生滿足要求的上游塵源后，用激光粒子計數(shù)器或光度計在過濾器下游側(cè)距過濾器表面mm~mm處，沿整個表面、邊框及其框架接縫處掃描，掃描速率為mm/s~mm/s，掃描行程之間略有重疊，掃描結(jié)果光度計法要求掃描行程內(nèi)穿透率不超過。