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工作原理，產(chǎn)品分類，注意事項(xiàng)，%苯酚噴霧降塵和消，用%新潔爾滅抹拭臺(tái)面和用具%酒精也可），用%甲醛）加少量**鉀定期密閉熏蒸，配合紫外線滅菌燈（每次開啟分鐘以上）等等消滅菌手段，以使無(wú)菌室經(jīng)常保持度的無(wú)菌狀。

其工作原理為，線接入電路中有定的順序，如線頭接錯(cuò)了，風(fēng)機(jī)會(huì)反轉(zhuǎn)，這時(shí)聲音正常或稍不正常，超凈臺(tái)正面無(wú)風(fēng)（可用酒精燈火焰觀察動(dòng)靜，不宜久試），應(yīng)及時(shí)切斷電源，只將其中兩相的線頭交換下位置再接上，就可解決。

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按后級(jí)空氣過濾器的級(jí)別進(jìn)行分類，可分為空氣過濾器潔凈工作臺(tái)和超空氣過濾器潔凈工作臺(tái)，對(duì)于非單向流潔凈工作臺(tái)而言，風(fēng)量是其重要的性能，JG/T-《潔凈工作臺(tái)》中給出了潔凈工作臺(tái)換氣次數(shù)范圍及額定風(fēng)量允許波動(dòng)范圍。

Chase），將潔凈室之循環(huán)風(fēng)量與外氣空調(diào)箱之補(bǔ)充風(fēng)量混合，經(jīng)由冷卻盤管（DryCoolingCoil）將回風(fēng)管道間之回風(fēng)降溫至凈室要求之規(guī)格，通過循環(huán)風(fēng)扇（FanFilterUnit或FFU）帶動(dòng)潔凈室的氣流循環(huán)帶走微塵及熱量，后經(jīng)過超高性能過濾網(wǎng)（Ultra-lowpenetrationair或ULPAFilter）過濾后，供應(yīng)至Fab區(qū)。