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其工作原理為，線接入電路中有定的順序，如線頭接錯了，風機會反轉，這時聲音正?；蛏圆徽?，超凈臺正面無風（可用酒精燈火焰觀察動靜，不宜久試），應及時切斷電源，只將其中兩相的線頭交換下位置再接上，就可解決。

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此外，潔凈工作臺還可配備紫外線滅菌燈、除靜電設備、不銹鋼孔板臺面、壓力表、風速液晶顯示面板等，空氣過濾器，作為塵埃粒子進入潔凈工作區(qū)的后道防線，其自身性能及安裝質量的優(yōu)劣直接關系到潔凈工作臺能否滿足要求。

無塵室的定義：空間范圍內之空氣中的微塵粒子等污染物排除，而得到個相當潔凈的環(huán)境，亦即：這個環(huán)境中的微塵粒子相當少，稱之為潔凈室，無塵室系統(tǒng)制造符合規(guī)格之潔凈空氣，連續(xù)且穩(wěn)定供給之潔凈空氣于使用端，潔凈室內的制造區(qū)（FAB）。

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Chase），將潔凈室之循環(huán)風量與外氣空調箱之補充風量混合，經(jīng)由冷卻盤管（DryCoolingCoil）將回風管道間之回風降溫至凈室要求之規(guī)格，通過循環(huán)風扇（FanFilterUnit或FFU）帶動潔凈室的氣流循環(huán)帶走微塵及熱量，后經(jīng)過超高性能過濾網(wǎng)（Ultra-lowpenetrationair或ULPAFilter）過濾后，供應至Fab區(qū)。

m/s；關于風速均勻性評價，不同標準中有不同的評價方法，如美國聯(lián)邦標準FSB、日本工業(yè)標準JISB-《潔凈工作臺》、我國行業(yè)標準JG/T-《層流潔凈工作臺檢驗標準》中均規(guī)定“每個測點應在平均風速的±%范圍內”[]，JG/T-《潔凈工作臺》中采用風速不均勻度（風速的相對標準偏差）的評價方法，要求風速測點整體不均勻度不超過%。