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過濾器掃描檢漏測試方法在很多相關(guān)標準中都有專門規(guī)定，具體測試方法如下：測試過程可采用大氣塵或人工多分散氣溶膠作為過濾器上游塵源，當發(fā)生滿足要求的上游塵源后，用激光粒子計數(shù)器或光度計在過濾器下游側(cè)距過濾器表面mm~mm處，沿整個表面、邊框及其框架接縫處掃描，掃描速率為mm/s~mm/s，掃描行程之間略有重疊，掃描結(jié)果光度計法要求掃描行程內(nèi)穿透率不超過。

生產(chǎn)凈化設(shè)備遵循“求實、求真、創(chuàng)新”的經(jīng)營原則，堅持“客戶至上”的經(jīng)營理念，以良好的設(shè)計、良好的品質(zhì)、高效的管理、完善的技術(shù)服務(wù)在整個凈化行業(yè)中樹立了良好的企業(yè)形象。并以合理的價格，令客戶滿意的質(zhì)量以及良好的服務(wù)贏得大批客戶。

潔凈工作臺的性能，主要圍繞產(chǎn)品保護這目標進行規(guī)定，具體及相應(yīng)要求可直接引用建工行業(yè)標準JG/T-《潔凈工作臺》中的相應(yīng)要求[]，包括過濾器檢漏、引射作用、平均風速、進風風速、風量、空氣潔凈度、沉降菌濃度、噪聲、照度、振動幅值、氣流狀態(tài)等。

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工作臺面采用體成型的不銹鋼,耐腐蝕,易清潔，深圳超凈工作臺根據(jù)氣流的方向分為垂直流深圳超凈工作臺和水平流深圳超凈工作臺，根據(jù)操作結(jié)構(gòu)分為單邊操作及雙邊操作兩種形式，按其用途又可分為普通超凈工作臺和生物()超凈工作臺。

Chase），將潔凈室之循環(huán)風量與外氣空調(diào)箱之補充風量混合，經(jīng)由冷卻盤管（DryCoolingCoil）將回風管道間之回風降溫至凈室要求之規(guī)格，通過循環(huán)風扇（FanFilterUnit或FFU）帶動潔凈室的氣流循環(huán)帶走微塵及熱量，后經(jīng)過超高性能過濾網(wǎng)（Ultra-lowpenetrationair或ULPAFilter）過濾后，供應(yīng)至Fab區(qū)。

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