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具有多種功能，除臭效果好;，擋調(diào)速控制，吸集塵運(yùn)轉(zhuǎn)噪聲低;，可供多單元集中控制，吸頂式空氣凈化器：，可單機(jī)遙控或多單元集中控制;，大多數(shù)采用前開門式結(jié)構(gòu)，具有雙重裝置，安裝、維修方便，適用于院、房、會(huì)議室等場(chǎng)所。

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風(fēng)速、風(fēng)速不均勻度，目前JG/T-《潔凈工作臺(tái)》中要求截面風(fēng)速范圍為，m/s~，具體的風(fēng)速及不均勻度測(cè)試方法可參照J(rèn)G/T-《潔凈工作臺(tái)》，此外，對(duì)于進(jìn)風(fēng)口設(shè)置在潔凈工作臺(tái)操作人員腿部的情況，為不產(chǎn)生操作者腿部吹風(fēng)感，要求進(jìn)風(fēng)風(fēng)速不超過m/s。

Chase），將潔凈室之循環(huán)風(fēng)量與外氣空調(diào)箱之補(bǔ)充風(fēng)量混合，經(jīng)由冷卻盤管（DryCoolingCoil）將回風(fēng)管道間之回風(fēng)降溫至凈室要求之規(guī)格，通過循環(huán)風(fēng)扇（FanFilterUnit或FFU）帶動(dòng)潔凈室的氣流循環(huán)帶走微塵及熱量，后經(jīng)過超高性能過濾網(wǎng)（Ultra-lowpenetrationair或ULPAFilter）過濾后，供應(yīng)至Fab區(qū)。

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