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臺式壁式兩用;，擋調(diào)速，吸集塵運轉(zhuǎn)噪聲低;，出風(fēng)口左右分開，路出風(fēng)，便于形成良好的循環(huán)氣流，如與空調(diào)器并用效果更佳，風(fēng)淋室是員工進(jìn)入潔凈室或無塵車間必備的凈化設(shè)備之它可以大限度地減少員工進(jìn)出潔凈室所帶來的污染問題。

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圖根據(jù)氣流方向進(jìn)行分類的潔凈工作臺，根據(jù)空氣過濾器級別分類，m（相當(dāng)于操作人員在操作時耳部位置）處測量，然后關(guān)閉潔凈工作臺風(fēng)機，在相同位置測量背景噪聲，并根據(jù)測得的背景噪聲對測試結(jié)果進(jìn)行相應(yīng)的修正；。

此外，潔凈工作臺還可配備紫外線滅菌燈、除靜電設(shè)備、不銹鋼孔板臺面、壓力表、風(fēng)速液晶顯示面板等，空氣過濾器，作為塵埃粒子進(jìn)入潔凈工作區(qū)的后道防線，其自身性能及安裝質(zhì)量的優(yōu)劣直接關(guān)系到潔凈工作臺能否滿足要求。

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凈化單元包括風(fēng)機、過濾器及均流層等；，具體測試方法：在潔凈工作臺操作口邊緣外側(cè)所毗連的周圍環(huán)境中，利用大氣塵或多分散氣溶膠作為污染源，用激光粒子計數(shù)器或光度計在操作口邊緣內(nèi)側(cè)巡檢，巡檢速度在mm/s以下。

Chase），將潔凈室之循環(huán)風(fēng)量與外氣空調(diào)箱之補充風(fēng)量混合，經(jīng)由冷卻盤管（DryCoolingCoil）將回風(fēng)管道間之回風(fēng)降溫至凈室要求之規(guī)格，通過循環(huán)風(fēng)扇（FanFilterUnit或FFU）帶動潔凈室的氣流循環(huán)帶走微塵及熱量，后經(jīng)過超高性能過濾網(wǎng)（Ultra-lowpenetrationair或ULPAFilter）過濾后，供應(yīng)至Fab區(qū)。