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其工作原理為，線接入電路中有定的順序，如線頭接錯(cuò)了，風(fēng)機(jī)會(huì)反轉(zhuǎn)，這時(shí)聲音正?；蛏圆徽?，超凈臺(tái)正面無風(fēng)（可用酒精燈火焰觀察動(dòng)靜，不宜久試），應(yīng)及時(shí)切斷電源，只將其中兩相的線頭交換下位置再接上，就可解決。

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此外，潔凈工作臺(tái)還可配備紫外線滅菌燈、除靜電設(shè)備、不銹鋼孔板臺(tái)面、壓力表、風(fēng)速液晶顯示面板等，空氣過濾器，作為塵埃粒子進(jìn)入潔凈工作區(qū)的后道防線，其自身性能及安裝質(zhì)量的優(yōu)劣直接關(guān)系到潔凈工作臺(tái)能否滿足要求。

無塵室的定義：空間范圍內(nèi)之空氣中的微塵粒子等污染物排除，而得到個(gè)相當(dāng)潔凈的環(huán)境，亦即：這個(gè)環(huán)境中的微塵粒子相當(dāng)少，稱之為潔凈室，無塵室系統(tǒng)制造符合規(guī)格之潔凈空氣，連續(xù)且穩(wěn)定供給之潔凈空氣于使用端，潔凈室內(nèi)的制造區(qū)（FAB）。

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Chase），將潔凈室之循環(huán)風(fēng)量與外氣空調(diào)箱之補(bǔ)充風(fēng)量混合，經(jīng)由冷卻盤管（DryCoolingCoil）將回風(fēng)管道間之回風(fēng)降溫至凈室要求之規(guī)格，通過循環(huán)風(fēng)扇（FanFilterUnit或FFU）帶動(dòng)潔凈室的氣流循環(huán)帶走微塵及熱量，后經(jīng)過超高性能過濾網(wǎng)（Ultra-lowpenetrationair或ULPAFilter）過濾后，供應(yīng)至Fab區(qū)。

m/s；關(guān)于風(fēng)速均勻性評價(jià)，不同標(biāo)準(zhǔn)中有不同的評價(jià)方法，如美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)FSB、日本工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)JISB-《潔凈工作臺(tái)》、我國行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)JG/T-《層流潔凈工作臺(tái)檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)》中均規(guī)定“每個(gè)測點(diǎn)應(yīng)在平均風(fēng)速的±%范圍內(nèi)”[]，JG/T-《潔凈工作臺(tái)》中采用風(fēng)速不均勻度（風(fēng)速的相對標(biāo)準(zhǔn)偏差）的評價(jià)方法，要求風(fēng)速測點(diǎn)整體不均勻度不超過%。