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圖潔凈工作臺的工作原理圖，豎直單向流潔凈工作臺應(yīng)在個不同豎直截面上（平行于前部操作窗口所在平面）分別進(jìn)行可視煙霧檢測，對于水平單向流潔凈工作臺只需在豎直截面上（平行于空氣過濾器出風(fēng)面）進(jìn)行可視煙霧檢測即可。

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Chase），將潔凈室之循環(huán)風(fēng)量與外氣空調(diào)箱之補(bǔ)充風(fēng)量混合，經(jīng)由冷卻盤管（DryCoolingCoil）將回風(fēng)管道間之回風(fēng)降溫至凈室要求之規(guī)格，通過循環(huán)風(fēng)扇（FanFilterUnit或FFU）帶動潔凈室的氣流循環(huán)帶走微塵及熱量，后經(jīng)過超高性能過濾網(wǎng)（Ultra-lowpenetrationair或ULPAFilter）過濾后，供應(yīng)至Fab區(qū)。

均流層作為均流設(shè)備是操作區(qū)內(nèi)潔凈度級別、風(fēng)速大小及風(fēng)速均勻度的重要保障，均流層主要有板、網(wǎng)或織物等形式，潔凈工作臺種類很多，它們的基本工作原理大同小異，可以根據(jù)具體需要進(jìn)行選擇，根據(jù)分類方式不同，大致可以分為以下幾種：。

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